产品中心
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汉骅特色产品
  • 氮化镓功率外延

  • 氮化镓RGB光电外延

  • 3DIC Hybrid Bonding异质集成芯片

  • MEMS芯片委托研发/生产服务

4-6英寸蓝宝石基氮化镓外延
 8英寸硅基氮化镓功率外延
基于GaN的HEMT技术,具有高转换效率、低导通损耗等优势,是汉骅的主要产业领域之一。

汉骅产品覆盖射频开关、高低压快充,已进入主流产线应用于快充、无线充电、手机射频开关、新能源汽车充电、音响功放、IDC、储能、数据中心等30V-1200V领域。
8 英寸硅基氮化镓RGB 显示外延产品
4/6 英寸蓝宝石基氮化镓RGB 显示外延产品
产品特点
高均一性、低翘曲度、低Crack、可调波长范围大
①非均匀性<1%
②翘曲度<20um
③ 距边Crack <2mm
④特色红光GaN外延,波长可覆盖610nm到670nm,IQE已验证处于国际领先水平

应用领域
①AR/VR、元宇宙光学引擎硬件等微显示领域
②Micro LED直显屏、车载HUD、投影显示等高端显示领域
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1. 汉骅特色3DIC常温异质集成Micro-LED微显示芯片
产品针对AR/VR,元宇宙光学引擎硬件,像元尺寸2-10微米
采用最新的hybrid bonding技术,常温异质集成化合物半导体和CMOS驱动芯片,兼容集成电路工艺,构成全新的3DIC芯片子阵单元,再同背板通过TSV工艺连接
可采用三色垂直堆叠,最大可能的提高CMOS驱动的利用率,支持4-8寸工艺
同光学部件,诸如微镜阵列、光波导(屏)等的工艺耦合度高。
2. 常温异质集成生物MEMS芯片
汉骅微流控芯片技术主要基于半导体材料与芯片技术可实现硅对玻璃、硅对硅等晶圆级常温异质/同质集成具有更高精度和更高通量,大幅缩短检测时间及提高检测准确度良好的化学惰性和热稳定性表面光洁度高汉骅独立大型生产线,在完成研发阶段后,厂内迅速实现芯片大规模量产。
异质/同质晶圆混合集成MEMS芯片,兼容集成电路IC工艺与生命科学MEMS芯片工艺,支持常温兼容集成
✔ 小型化、高集成度、高精度、高自动化
✔ 缩短检测时间,提高检测准确性
✔ 特色刻蚀 & 切割工艺,优化雾形雾角
✔ 直接肺部给药,优化药物吸收效果
微流控
半导体MEMS工艺及特色工艺委托研发/生产
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